気相エピタキシー
きそうエピタキシー
- vapor phase epitaxy; VPE; vapor phase epitaxial growth n
きそうエピタキシー
キ • ケ
き
spirit; mind; air; atmosphere; mood
ソウ • ショウ
あい-
inter-; mutual; together; each other; minister of state; councillor; aspect; phase; physiognomy
きそうエピタキシャルせいちょう